无油螺杆泵工作原理

螺杆式真空泵也是基于静态压缩系统，作为设计原理，与罗茨泵的压力产生是通过“内部”体积的减少相反。

螺杆式真空泵是由两根螺杆组成，一根右旋螺纹另外一根左旋螺纹。两根结合的非常密致螺杆，无摩擦的向压缩腔转动，经由一根精密齿轮同步。压缩腔和特别形状的螺杆形成了压缩室。由于两根螺杆反方向运转，与吸气点连接的腔室被放大，气体被输送至压缩腔。腔室沿吸气侧到压力侧轴向移动。

在输送期间，由于流量的增加使得腔室中大量的气体增加。压力侧的腔室沿着腔壁轴向移动，体积逐渐减少直到螺杆的前表面打开压力通道，预压缩气体通过压力连接点被排出。冷却水被获得用于冷却外面的腔壁。